真空泵產(chǎn)品數(shù)量巨大，需求量大，產(chǎn)量不高，但這確實(shí)是一個(gè)直接影響真空設(shè)備功能質(zhì)量不可缺少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需求而發(fā)生變化。從半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展和擴(kuò)大干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)槭袌?chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力。下面上海真空泵為大家介紹幾款常用的機(jī)型。

1、水環(huán)真空泵

雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵，但在石油，化工，電力，紡織，造紙，醫(yī)藥產(chǎn)品方面仍有很大的市場(chǎng)。在國(guó)外，水環(huán)真空泵的銷售額占市場(chǎng)總額的14%，次于干泵，所以SEIMEMS和NASH，在中國(guó)KINNEY投資建設(shè)這樣的公司和建立銷售網(wǎng)絡(luò)，并在我們的市場(chǎng)份額不斷擴(kuò)大[3]。由于水環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求不高，勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以水環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。

2、旋轉(zhuǎn)活塞泵

旋轉(zhuǎn)活塞泵是一種油封式真空泵。由于旋轉(zhuǎn)活塞泵更經(jīng)用，可靠，國(guó)內(nèi)外各種真空爐，干燥設(shè)備涂布，浸液旋轉(zhuǎn)活塞泵是一種旋轉(zhuǎn)活塞泵前級(jí)泵，但鑄造重，處理工作量較大，所以國(guó)外真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，防止泄漏和提高噴射以及旋轉(zhuǎn)活塞泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。

3、直聯(lián)旋片泵

跟著真空技能在各個(gè)運(yùn)用領(lǐng)域的需求不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵日益增加。因?yàn)檫@種泵數(shù)量，加工和裝置的作業(yè)量是十分大的，價(jià)格很低，所以在我國(guó)的一些外國(guó)真空制造商樹立工廠。國(guó)內(nèi)中小型直聯(lián)旋片泵技能現(xiàn)已過(guò)，價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)外泵廉價(jià)，所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)賽優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要處理軸封走漏和旋轉(zhuǎn)葉片資料以及真空泵油的功能質(zhì)量問(wèn)題，保證直聯(lián)泵在高速，高溫功能安穩(wěn)，作業(yè)牢靠，一起，進(jìn)一步完善國(guó)內(nèi)直聯(lián)旋片泵除水蒸氣的才能。

4、羅茨真空泵

從國(guó)外羅茨真空泵出產(chǎn)的狀況來(lái)看，國(guó)外一些大公司，他們每個(gè)羅茨泵的出售額占國(guó)際羅茨泵出售份額超越5%，這不僅是20%，共5家羅茨泵輸出魯本不大，但國(guó)外的羅茨真空泵價(jià)格比國(guó)產(chǎn)泵高很多[4]。現(xiàn)在，國(guó)內(nèi)外具有簡(jiǎn)直一切大型或小型的高真空和真空系統(tǒng)，以縮短吸氣時(shí)刻、進(jìn)步羅茨真空泵設(shè)備出產(chǎn)功率，因而國(guó)產(chǎn)羅茨真空泵有必要在占據(jù)國(guó)內(nèi)商場(chǎng)的基礎(chǔ)上，成功進(jìn)入國(guó)際商場(chǎng)，所以咱們有必要進(jìn)一步削減國(guó)內(nèi)的羅茨真空泵的振動(dòng)噪聲，徹底處理軸封走漏問(wèn)題，進(jìn)步質(zhì)量和進(jìn)步泵內(nèi)部外表的完和清洗。另外，乃至考慮到一些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更好的讓羅茨真空泵在長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)牢靠的前提下進(jìn)步速度。

現(xiàn)在，國(guó)內(nèi)空氣嵌入式羅茨真空泵進(jìn)開展很快，技能上現(xiàn)已老練。因?yàn)檫@種泵在排氣口下方含氣體冷卻器，一部分經(jīng)過(guò)管道泵腔冷卻空氣來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子的作業(yè)，從而使冰箱的熱量平衡，所以這種泵能夠直接銜接大氣。為了滿意極限真空泵系列的要求不同，這能夠被運(yùn)用，一般增加空氣嵌入式羅茨真空泵，前級(jí)泵的極限真空度要到達(dá)一個(gè)高水平比。這種泵因?yàn)樵诒檬覜](méi)有作業(yè)介質(zhì)，實(shí)際上是歸于干泵。現(xiàn)在，在石油，化工，塑料，農(nóng)藥有這種嵌入式羅茨真空泵及機(jī)組，汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡，航天空間模仿設(shè)備有測(cè)驗(yàn)的長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)，所以應(yīng)該在我國(guó)推廣和運(yùn)用[5]。

5、分子泵

在許多外國(guó)半導(dǎo)體工藝場(chǎng)合場(chǎng)分子泵替代低溫泵，尤其是濺射，蝕刻和堆積設(shè)備選用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

因?yàn)榉肿颖脤?duì)水蒸氣的抽速與直徑只要低溫泵的抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)刻比低溫泵長(zhǎng)。為了進(jìn)步抽速，國(guó)外在分子泵的進(jìn)口側(cè)裝置一個(gè)130℃~ 150℃低溫冷卻板，稱為低溫分子泵，低溫板氣，其他氣體分子被抽走[6]。這種低溫分子泵在真空鍍膜設(shè)備上的運(yùn)用，既進(jìn)步了出產(chǎn)功率和進(jìn)步涂層質(zhì)量。跟著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)，電影工業(yè)和科學(xué)研討工作迅速開展，分子泵應(yīng)該是集中于我國(guó)真空泵制造業(yè)的開展。首要，分子泵樹立一套完好的體系，以及研討和開發(fā)不同的復(fù)合分子泵，牽引泵和低溫分子泵，以滿意不同場(chǎng)合的需求。

6、干式機(jī)械真空泵

國(guó)外的干式機(jī)械真空泵商場(chǎng)不斷增加，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體職業(yè)，化學(xué)工業(yè)，電影工業(yè)的快速開展。在日本，半導(dǎo)體職業(yè)已全部運(yùn)用干式真空泵油密封型機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體職業(yè)超越45%替換干式真空泵油密封型機(jī)械泵，大大進(jìn)步了產(chǎn)品的功能和質(zhì)量。為了滿意不同的運(yùn)用和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵，多級(jí)爪式真空泵，螺桿真空泵和真空泵，往復(fù)式活塞真空泵和渦輪渦無(wú)油真空泵等。極端壓力從10 ~ 10-2Pa，從20m3/h ~ 500m3/h，依據(jù)計(jì)算抽速，現(xiàn)在國(guó)產(chǎn)干泵的運(yùn)用還缺乏1%[7]，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)與干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，價(jià)格十分貴重。因而，我國(guó)應(yīng)大力研討和開發(fā)干泵，使干真空泵成為我國(guó)工業(yè)經(jīng)濟(jì)新的增加點(diǎn)。